光刻膠殘留大,殘留分布不均勻,并且產生邊緣聚集殘留。為了能夠進一步地表示配方一和配方二之間的光刻膠殘留量對比,圖2中將多張單張檢測圖進行疊加,可以更加清楚地看出兩者之間的區別,能夠明顯地看出使用配方一的剝離液,高世代面板邊緣光刻膠殘留量大。下面列舉更多剝離液組分實施例。表三:不同組分的剝離液表四:測試剝離性能時間30s50s70s90s1okokokok2okokokok3okokokok4okokokok5okokokok6okokokok7okokokok8okokokok9okokokok表三為9組不同組分的所制成的剝離液,9組不同組分的剝離液都進行剝離性能測試,在50℃下分別放入切好的玻璃,進行剝離性能測試,測試結果如表四所示,具有良好的剝離效果。通過上述,本實施方式中的剝離液采用酰胺、醇醚、環胺與鏈胺、緩蝕劑、潤濕劑制得,有效地提高了光刻膠的剝離效果,減少了光刻膠的殘留。對所公開的實施例的上述說明,使本領域專業技術人員能夠實現或使用本發明。對這些實施例的多種修改對本領域的專業技術人員來說將是顯而易見的,本文中所定義的一般原理可以在不脫離本發明的精神或范圍的情況下,在其它實施例中實現。因此,本發明將不會被限制于本文所示的這些實施例。華星光電用的哪家的剝離液?江化微的蝕刻液剝離液商家
隨著國內電子制造產業和光電產業的迅速發展,光刻膠剝離液等電子化學品的使用量也大為増加。特別是縱觀近幾年度的光電行業,風靡全球的智能手持設備、移動終端等簡直成為了光電行業的風向標:與之相關的光電領域得到了飛速的發展,鏡頭模組、濾光片、LTPS液晶顯示面板、觸摸屏幕、傳感器件等等。而光電行業的其他領域,雖然也有增長,但是遠不及與智能手持設備相關的光電領域。工業上所使用的剝離液主要是有機胺和極性有機溶劑的組合物,通過溶脹和溶解方式剝離除去光刻膠。上述有機胺可包括單乙醇胺(MEA),二甲基乙酰胺(DMAC),N-甲基甲酰胺(NMF),N-甲基ニ乙醇胺(MDEA)等。上述極性有機溶劑可包括二乙二醇甲醚(DGME),二乙二醇單丁醚(BDG),二甲亞砜(DMS0),羥乙基哌嗪(NEP)等。由于LCD液晶屏具有體積小、質量輕、清晰度高、圖像色彩好等優點,被廣泛應用于工業生產中,按目前使用的液晶電視、電腦顯示屏等生命周期為6-8年計算,未來隨著年代的更替,LCD的生產量液將會增加,從而導致剝離液的使用量也大量增加,剝離液大量使用的同時也產生大量剝離液廢液。剝離液廢液中除了含有少量高分子樹脂和光敏劑外。深圳江化微的蝕刻液剝離液價格剝離液有怎么進行分類的。
騰田化學技術(上海)技術有限公司(簡稱:騰田化學),騰田化學坐落于上海五角場萬達廣場,依托復旦大學·東華大學·華東理工大學·中科院有機所·上海石油商品研究所就相關材料領域建立研發中心,憑借強大的科研實力,多年豐富的研發經驗,共同建立化工材料分析中心與新材料研發中心;騰田化學致力于化工行業材料檢測、材料分析、配方還原、新領域新材料的研發;加快新項目整體研發進度,縮短研發周期,推動化工產業自主研發的進程.為企業提供一站式服務。騰田化學作為國內的配方及研發技術有限公司,騰田化學技術團隊具有豐富研發經驗,與多所高校及研究所建立研究性合作平臺,擁有前列的技術研發平臺、雄厚的科研技術力量以及精密的高科技儀器設備;有標準的圖譜庫;材料庫;完善的數據庫;能夠有效的解決某些前列領域特殊產品**能性助劑的定性定量分析及研發技術服務,為企業解決在研發中遇到的難題,突破多領域技術瓶頸;并且與化工行業上百家有規模企業建立長期技術合作;騰田化學中心擁有強大的技術研發團隊:由數位工程師在新材料前列領域已幫助多家企業解決實際生產問題,協助企業成功自主研發**產品項目很多項。
實施例1~6:按照表1配方將二甲基亞砜、一乙醇胺、四甲基氫氧化銨、硫脲類緩蝕劑、聚氧乙烯醚類非離子型表面活性劑、n-甲基吡咯烷酮和去離子水混合,得到用于疊層晶圓的光刻膠剝離液。表1:注:含量中不滿100wt%的部分由去離子水補足余量。以cna披露的光刻膠剝離液作為對照例,與實施例1~6所得用于疊層晶圓的光刻膠剝離液進行比較試驗,對面積均為300cm2的疊層晶圓上的光刻膠進行剝離并分別測定剝離周期、金屬鍍層的腐蝕率和過片量(剝離的面壁數量)。對比情況見表2:表2:剝離周期/s金屬腐蝕率/ppm過片量/片實施例1130~15015376實施例2130~15016583實施例3130~15017279實施例4130~15015675實施例5130~15016372實施例6130~15017681對照例180~20022664由表2可知,本用于疊層晶圓的光刻膠剝離液通過加入硫脲類緩蝕劑和聚氧乙烯醚類非離子型表面活性劑,使剝離效率有明顯的提升,對金屬腐蝕率降低20%以上,而且讓過片量提高10%以上。以上所述的*是本發明的一些實施方式。對于本領域的普通技術人員來說,在不脫離本發明創造構思的前提下,還可以做出若干變形和改進,這些都屬于本發明的保護范圍。博洋剝離液供應廠商,專業分離設備,智能研發,工程項目,經驗豐富,質量可靠,歡迎隨時來電咨詢!
所述的鏈胺為乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、二甘醇胺、異丙醇胺、甲基二乙醇胺、amp-95中的任意一種或多種。技術方案中,所述的環胺為氨乙基哌嗪、羥乙基哌嗪、氨乙基嗎啉中的任意一種或多種。技術方案中,所述的緩蝕劑為三唑類物質。的技術方案中,所述的緩蝕劑為苯并三氮唑、甲基苯并三氮唑中的任意一種。技術方案中,所述的潤濕劑含有羥基。技術方案中,所述的潤濕劑為聚乙二醇、甘油中的任意一種。經由上述的技術方案可知,與現有技術相比,本發明具有以下有益效果:本發明中加入環胺與鏈胺,能夠滲透、斷開光刻膠分子間弱結合力,能夠快速、有效地溶解光刻膠,而配方中加入潤濕劑,能夠有效地減少接觸角,增強親水性,使得剝離液親水性良好,能快速高效地剝離溶解光刻膠。附圖說明:圖1為配方一和配方二的剝離液滴落在平面時兩者的接觸角對比圖。圖2為配方一和配方二的剝離液應用是光刻膠的殘留量對比圖。具體實施方式現有技術中的剝離液其水置換能力較差,容易造成面板邊緣光刻膠殘留,本申請經過大量的試驗,創造性的發現,在剝離液中加入潤濕劑,能夠使固體物料(高世代面板)更易被水浸濕的物質,通過降低其表面張力或界面張力,使水能展開在固體物料。如何挑選一款適合自己公司的剝離液?蘇州中芯國際用剝離液費用
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采用此方法可以制備出負性光刻膠所能制備的任意結構,同時相比于傳統的加工,本方案加工效率可以提高上千倍,且圖形的結構越大相對的加工效率越高。本發明為微納制造領域,光學領域,電學領域,聲學領域,生物領域,mems制造,nems制造,集成電路等領域提供了一種新的有效的解決方案。附圖說明圖1為本發明制備用電子束在pmma上曝光出圓形陣列的輪廓;圖2為本發明用黏貼層撕走pmma輪廓以外的結構后得到的圓形柱狀陣列;圖3為實施例1步驟三的結構圖;圖4為實施例1步驟四的結構圖;圖5為實施例1步驟五的結構圖;圖6為實施例1步驟六的結構圖。具體實施方式為了使本發明的目的、技術方案和優點更加清楚,下面將結合附圖對本發明作進一步詳細的描述。實施例1一種選擇性剝離光刻膠制備微納結構的方法,包括以下步驟:步驟一、提供襯底,并清洗;步驟二、使用十三氟正辛基硅烷利用高溫氣體修飾法對襯底進行修飾;步驟三、利用旋涂的方法在襯底上旋涂光刻膠pmma得到薄膜,如圖3。步驟四、在光刻膠上加工出所需結構的輪廓如圓形,如圖4所示。步驟五、在加工出結構輪廓的薄膜上面覆蓋一層黏貼層,如圖5。步驟六、揭開黏貼層及結構輪廓以外的薄膜,在襯底上留下輪廓內的微納尺度結構。江化微的蝕刻液剝離液商家