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深圳配方剝離液配方技術

來源: 發布時間:2025-09-17

例如即使為50/50μm以下的線/間距、推薦10/10~40/40μm的線/間距也能除去抗蝕劑。實施例以下,舉出實施例對本發明進行詳細說明,但本發明不受這些實施例任何限定。實施例1抗蝕劑的剝離液的制備:將以下的表1中記載的成分在水中混合、溶解而制備抗蝕劑的剝離液?!颈?】(mol/l)氫氧化鉀氫氧化鈉異丙基溶纖劑硅酸鉀本發明組成:(1)基板制作方法為了提**膜抗蝕劑一基材間的密合,將覆銅層疊板(古河電工(株式會社)制:ccl:電解銅箔gts35μm箔)通過粗化處理(jcu制:ebakemuneobrownnbsii、蝕刻量μm)使表面粗度成為ra約μm。其后,使用干膜抗蝕劑(日立化成制:rd-1225(sap用):25μm厚)實施從層壓到圖案曝光、顯影。向本基板以15μm厚實施鍍銅(jcu制:cu-britevl)后,切出50×50mm2作為試驗片。需要說明的是,該試驗片是在一片上具有以下的表2的l/s的圖案部分和黏性部分的試驗片。(2)圖案基板上殘留的抗蝕劑的評價方法上述評價方法中將噴涂運行時間固定在4分鐘,按照以下的評價基準評價l/s=20/20~40/40μm的圖案部分有無剝離殘渣。將其結果示于表2。<剝離殘渣的評價基準>(分數)(內容)1:無殘渣2:有極少量殘渣。鋁剝離液的配方是什么?深圳配方剝離液配方技術

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本發明**技術公開了一種印刷品膠面印刷剝離復合裝置,包括主支撐架、橫向支架、伺服變頻電機、電機減速箱、印刷品放置箱、表面印刷結構、膠面剝離結構,所述主支撐架上方設置有所述橫向支架,所述橫向支架上方設置有所述伺服變頻電機,所述卷邊輥一側安裝有膠面收卷輥,所述膠面剝離結構一側安裝有電加熱箱,所述電加熱箱下方安裝有熱風噴頭,所述熱風噴頭下方安裝有干燥度感應器,所述干燥度感應器下方安裝有電氣控制箱,所述電氣控制箱上方安裝有液晶操作面板。有益效果在于:采用黏合方式對印刷品膠面印刷進行剝離,同時能夠對印刷品膠面進行回收,節約了大量材料,降低了生產成本。AprintedpeelingcompounddeviceforprintingsurfaceprintingTheinventiondisclosesaprintedpeelingstrippingcompounddevice,whichincludesamainsupportframe,alateralbracket,aservomotor,amotordecelerationbox,aprintingbox,【技術實現步驟摘要】一種印刷品膠面印刷剝離復合裝置本**技術涉及印刷品加工設備領域,本**技術涉及一種印刷品膠面印刷剝離復合裝置。技術介紹膠面印又稱膠上印。郵票圖案誤印在涂有背膠的一面。在郵票印刷過程中,不慎將郵票**涂膠紙放反而造成。郵票膠面印后。深圳配方剝離液配方技術剝離液的使用方法和條件;

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在不付出創造性勞動的前提下,還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。圖1為本申請實施例提供的剝離液機臺的種結構示意圖。圖2為本申請實施例提供的剝離液機臺的第二種結構示意圖。圖3為本申請實施例提供的剝離液機臺的第三種結構示意圖。圖4為本申請實施例提供的剝離液機臺的第四種結構示意圖。圖5為本申請實施例提供的剝離液機臺的工作方法的流程示意圖。具體實施方式目前剝離液機臺在工作時,如果過濾剝離光阻時產生的薄膜碎屑的過濾器被阻塞,則需要剝離液機臺內的所有工作單元,待被阻塞的過濾器被清理后,才能重新進行剝離制程,使得機臺需頻繁停線以更換過濾器,極大的降低了生產效率。請參閱圖1,圖1為本申請實施例提供的過濾液機臺100的種結構示意圖。本申請實施例提供一種剝離液機臺100,包括:依次順序排列的多級腔室10、每一級所述腔室10對應連接一存儲箱20;過濾器30,所述過濾器30的一端設置通過管道40與當前級腔室101對應的存儲箱20連接,所述過濾器30的另一端通過第二管道50與下一級腔室102連接;其中,至少在管道40或所述第二管道50上設置有閥門開關60。

閥門開關60設置在每一子管道301上。在一些實施例中,閥門開關60設置在每一子管道401及每一所述第二子管道502上。在一些實施例中,閥門開關60設置在每一第二子管道502上。具體的,閥門開關60的設置位置可以設置在連接過濾器30的任意管道上,在此不做贅述。在一些實施例中,請參閱圖4,圖4為本申請實施例提供的剝離液機臺100的第四種結構示意圖。第二管道50包括多個第三子管道503,每一所述第三子管道503與一子過濾器連通301,且每一所述第三子管道503與所述下一級腔室連通102。其中,閥門開關60設置在每一第三子管道503上。本申請實施例提供的剝離液機臺,包括:依次順序排列的多級腔室、每一級所述腔室對應連接一存儲箱;過濾器,所述過濾器的一端設置通過管道與當前級腔室對應的存儲箱連接,所述過濾器的另一端通過第二管道與下一級腔室連接;其中,至少在管道或所述第二管道上設置有閥門開關。通過閥門開關控制連接每一級腔室的過濾器相互獨立,從而在過濾器被阻塞時通過閥門開關將被堵塞的過濾器取下并不影響整體的剝離進程,提高生產效率。本申請實施例還提供一種剝離液機臺的工作方法,請參閱圖5,圖5為本申請實施例提供的剝離液機臺的工作方法的流程示意圖。哪家的剝離液比較好用點?

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光刻膠殘留大,殘留分布不均勻,并且產生邊緣聚集殘留。為了能夠進一步地表示配方一和配方二之間的光刻膠殘留量對比,圖2中將多張單張檢測圖進行疊加,可以更加清楚地看出兩者之間的區別,能夠明顯地看出使用配方一的剝離液,高世代面板邊緣光刻膠殘留量大。下面列舉更多剝離液組分實施例。表三:不同組分的剝離液表四:測試剝離性能時間30s50s70s90s1okokokok2okokokok3okokokok4okokokok5okokokok6okokokok7okokokok8okokokok9okokokok表三為9組不同組分的所制成的剝離液,9組不同組分的剝離液都進行剝離性能測試,在50℃下分別放入切好的玻璃,進行剝離性能測試,測試結果如表四所示,具有良好的剝離效果。通過上述,本實施方式中的剝離液采用酰胺、醇醚、環胺與鏈胺、緩蝕劑、潤濕劑制得,有效地提高了光刻膠的剝離效果,減少了光刻膠的殘留。對所公開的實施例的上述說明,使本領域專業技術人員能夠實現或使用本發明。對這些實施例的多種修改對本領域的專業技術人員來說將是顯而易見的,本文中所定義的一般原理可以在不脫離本發明的精神或范圍的情況下,在其它實施例中實現。因此,本發明將不會被限制于本文所示的這些實施例。天馬微電子用的哪家的剝離液?惠州中芯國際用剝離液推薦貨源

剝離液是一種用去去除光刻膠的化學品。深圳配方剝離液配方技術

所述硫脲類緩蝕劑包括硫脲、苯基硫脲或月桂酰基硫脲中的一種。具體的,所述聚氧乙烯醚類非離子型表面活性劑為聚氧乙烯聚氧丙烯單丁基醚、壬基酚聚氧乙烯醚、辛基酚聚氧乙烯醚、十二烷基聚氧乙烯醚、二壬基酚聚氧乙烯醚中的一種。采用上述技術方案,本發明技術方案的有益效果是:本用于疊層晶圓的光刻膠剝離液具有較快的剝離速度,對金屬的腐蝕率低,而且使用壽命長。具體實施方式本發明涉及一種用于疊層晶圓的光刻膠剝離液,配方包括10~20wt%二甲基亞砜,10~20wt%一乙醇胺,5~11wt%四甲基氫氧化銨,~1wt%硫脲類緩蝕劑和~2wt%聚氧乙烯醚類非離子型表面活性劑,5~15wt%n-甲基吡咯烷酮和余量的去離子水。聚氧乙烯醚類非離子型表面活性劑因為分子中的醚鍵不易被酸、堿破壞,所以穩定性較高,水溶性較好,耐電解質,易于生物降解,泡沫小。硫脲類緩蝕劑呈現弱堿性,所以在酸性介質中能夠起到緩蝕的效果,另外與聚氧乙烯醚類非離子型表面活性劑和n-甲基吡咯烷酮配合可以起到提高處理量的作用。下面結合具體實施例對本發明作進一步詳細說明。深圳配方剝離液配方技術

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