技術(shù)實現(xiàn)要素:本實用新型所解決的技術(shù)問題即在于提供一種擋液板結(jié)構(gòu)與以之制備的蝕刻設備,尤其是指一種適用于濕式蝕刻機的擋液排液功能且增加其透氣性以降低產(chǎn)品損耗的擋液板結(jié)構(gòu)與以之制備的蝕刻設備,主要借由具有復數(shù)個宣泄孔的擋液板結(jié)構(gòu)搭配風刀裝置的硬體設計,有效使風刀裝置吹出的氣體得以經(jīng)由宣泄孔宣泄,并利用水滴的表面張力現(xiàn)象防止水滴由宣泄孔落下造成基板顯影不均等異常現(xiàn)象,確實達到保有原始擋液板的擋液效果,以及增加透氣性以破除真空以減少因真空吸板導致的基板刮傷或破片風險等主要優(yōu)勢。本實用新型所采用的技術(shù)手段如下所述。為了達到上述的實施目的,本實用新型提出一種擋液板結(jié)構(gòu),適用于一濕式蝕刻機,擋液板...
步驟一s1:設置一擋液板結(jié)構(gòu)10,其中該擋液板結(jié)構(gòu)10設置有復數(shù)個宣泄孔121;該擋液板結(jié)構(gòu)10包括有一***擋板11、一與該***擋板11接合的第二擋板12,以及一與該第二擋板12接合的第三擋板13,其中該第二擋板12具有復數(shù)個貫穿該第二擋板12且錯位設置的宣泄孔121,該復數(shù)個宣泄孔121呈千鳥排列的直通孔態(tài)樣,且位于同一列的宣泄孔121之間具有相同的距離,其中該宣泄孔121的孔徑a0比較好小于3mm,以使該宣泄孔121的孔洞內(nèi)產(chǎn)生毛細現(xiàn)象,若該第二擋板12的該上表面123有水滴出現(xiàn)時,則該水滴不至于經(jīng)由該宣泄孔121落至下表面122,但仍舊可以提供空氣宣泄的管道,以借由該宣泄孔1...