根據對華新光電、日東集團的剝離液成分進行分析得知,剝離液主要成分為單乙醇胺(MEA),二甲亞砜(DMS0)和二乙二醇單丁醚(BDG),其中市場上大部分以二乙二醇單丁醚居多。剝離液廢液多呈深黑色且氣味大,由以下幾種組分構成:(1)、1~20%重量的醇胺或者酰胺,以伯胺和腫胺為主。(2)、10~60%重量的醇;(3)、10~50%重量的水;(4)、5~50%重量的極性有機溶劑,如;N-甲基吡咯烷酮(NMP),環丁基砜、二甲基亞砜(DMSO)、二甲基乙酰胺、N-乙基甲酰胺等。(5)、~3%重量的金屬抗蝕劑,如2-氨基環己醇、2-氨基環戊醇等。根據上述分析可以看出,剝離液中大部分是有機溶劑,可以加以回收資源化利用,或者將剝離廢液進行脫色凈化處理后再用于生產中,配成剝離液。當前國內主要產生剝離液的廠家主要分布在天津及深圳一帶,均是高新技術發達區域,隨著國內經濟及城市的發展,剝離液產廢地點將越來越,也將引起環保的重視及關注。剝離液可以實現光刻膠的剝離;滁州格林達剝離液費用
需要說明的是,本發明剝離液中,推薦*由上述成分構成,但只要不阻礙本發明的效果,可以含有例如聚氧化烯烷基醚系、硅系的消泡劑等其它成分。以上說明的本發明剝離液可以通過將上述成分溶于水中來制備。需要說明的是,本發明剝離液的ph若為堿性則沒有特別限定,但通常**將上述成分溶于水就成為堿性,因此沒有特別必要調整ph。另外,本發明剝離液可以通過將上述成分分別分開預先溶于水,成為抗蝕劑的剝離液套件,將它們混合來制備。具體來說,可以舉出以包含含有鉀鹽的第1液和含有溶纖劑的第2液為特征的抗蝕劑的剝離液套件、其中還包含含有硅酸鹽的第3液的抗蝕劑的剝離液套件、進而在其中使上述其它成分適當含有于各液中的抗蝕劑的剝離液套件等。通過使用本發明剝離液對施加有抗蝕劑的基材進行處理,抗蝕劑被細小地粉碎。嘉興京東方用的蝕刻液剝離液生產哪家公司的剝離液的是口碑推薦?
所述過濾器包括多個并列排布的子過濾器,所述道包括多個子管道,每一所述子管道與一子過濾器連通,且所述多個子管道與當前級腔室對應的存儲箱連通。在一些實施例中,所述第二管道包括公共子管道及多個第二子管道,每一所述第二子管道與一子過濾器連通,每一所述第二子管道與所述公共子管道連通,所述公共子管道與所述下一級腔室連通。在一些實施例中,所述閥門開關設置在每一所述子管道上。在一些實施例中,所述閥門開關設置在每一所述第二子管道上。在一些實施例中,所述閥門開關設置在每一所述子管道及每一所述第二子管道上。在一些實施例中,所述第二管道包括多個第三子管道,每一所述第三子管道與一子過濾器連通,且每一所述第三子管道與所述下一級腔室連通。在一些實施例中,所述閥門開關設置在每一所述第三子管道上。本申請實施例還提供一種剝離液機臺的工作方法,包括:將多級腔室順序排列,按照處于剝離制程的剝離基板的傳送方向逐級向剝離基板提供剝離液;將來自于當前級腔室經歷剝離制程的剝離液收集和存儲于當前級腔室相應的存儲箱中,所述剝離液中夾雜有薄膜碎屑;使用當前級腔室相應的過濾器過濾來自當前級腔室的剝離液并將過濾后的剝離液傳輸至下一級腔室。
添加劑中含有醇醚化合物、胺化合物、緩蝕劑以及潤濕劑;s3:將步驟s1的剝離液廢液與添加劑混合,重新制備剝離液新液,制備過程中加入酰胺化合物或醇醚化合物。光刻膠剝離液為純有機溶劑體系,廢液可通過蒸餾回收80-95%有效物,得出純化液體,而在上述制備方式中,純化液體所含的組分與添加劑所含的組分之間是具有相重復的,可以認為,添加劑是根據已知的剝離液新液的組分進行配制的,添加劑可以是對純化液體與剝離液新液之間的組分的差別而進行的添加、補充,使得純化液體和添加劑混合后,能夠具有與剝離液新液相同的組分。那么,可以知道,在預先知道剝離液新液的組分的基礎上,可以通過預先配制含有剝離液新液中的某些組分的添加劑,然后在制備回收的剝離液廢液得出純化液體時,可以將添加劑加入純化液體中,再進行質量分數的調節。純化液體是將剝離液廢液進行加壓、蒸餾,去除剝離液廢液中的非剝離液新液的組分的物質,然后得出的純化液體,純化液體中所含的組分物質,都是剝離液新液所含有的組分物質。進一步技術方案中,所述的步驟1中得出的純化液體中含有的酰胺化合物的質量分為:45%-60%;含有的醇醚化合物的質量分為:35%-50%。如何正確使用剝離液。
能夠增強親水性,使得剝離液親水性良好,能快速高效地剝離溶解光刻膠。潤濕劑含有羥基,為聚乙二醇、甘油中的任意一種。下面通過具體實施例對本申請作進一步詳細說明。以下實施例對本申請進行進一步說明,不應理解為對本申請的限制。表一:兩種不同組分的剝離液配方一和配方二所采用的基礎組分基本相同,不同的是配方二中加入有潤濕劑,上述所描述的潤濕劑是用于增強親水性的,滴液與產品表面間的夾角為接觸角,接觸角可用來衡量潤濕程度,水滴角測試儀可測量接觸角,從潤濕角度考慮,接觸角<90°,且接觸角越小潤濕效果越好加入潤濕劑后的配方二所制得的剝離液,在滴落在高世代面板后,通過水滴角測試儀測接觸角,檢測圖如圖1所示,三次測試的接觸角如下表二:上述兩種不同組分的剝離液作接觸角測試接觸角配方一配方二測試一,加入潤濕劑后的配方二所制得的剝離液,其滴落在高世代面板后,其接觸角比未加入潤濕劑的配方一的剝離液潤濕效果更好;請參閱圖2所示,將配方一所制得的剝離液以及配方二所制得的剝離液進行光刻膠剝離,圖2中的陰影圓點為浸泡時間t1后光刻膠殘留,明顯地,可以看出配方二中t1時間后光刻膠殘留量小,而配方一中產品邊緣處光刻膠的殘留量大。天馬微電子用哪家剝離液更多?江蘇銅蝕刻液剝離液推薦廠家
剝離液蝕刻后如何判斷好壞 ?滁州格林達剝離液費用
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