廣東斯柯森氣體檢測設備有限公司2025-09-09

電子級三氟化氮（半導體蝕刻氣體）儲存庫泄漏時，NF?遇水會分解產生氟化氫，斯柯森 SKSG-DZ 系列固定式氣體檢測儀可檢測：三氟化氮（0-10ppm，紅外傳感器）、氟化氫（0-5ppm）。設備采用本質安全型設計（Ex iaⅡC T4），安裝在儲罐安全閥和閥門組附近，支持與惰性氣體吹掃系統聯動，泄漏超標時立即啟動氮氣吹掃，防止 NF?與空氣反應，符合《電子特種氣體安全儲存規范》，保障半導體生產用氣體安全。

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