一、氣流流型的設(shè)計(jì),應(yīng)符合下列要求:1氣流流型應(yīng)滿(mǎn)足空氣潔凈度等級(jí)的要求。空氣潔凈度等級(jí)要求為1~4級(jí)時(shí),應(yīng)采用垂直單向流;空氣潔凈度要求為5級(jí)時(shí),應(yīng)采用垂直單向流或水平單向流。2空氣潔凈度要求為6~9級(jí)時(shí),宜采用非單向流。3潔凈室工作區(qū)的氣流分布應(yīng)均勻。4潔凈室工作區(qū)的氣流流速應(yīng)滿(mǎn)足生產(chǎn)工藝要求。5潔凈室的送風(fēng)量,應(yīng)取下列三項(xiàng)中的值:1)為保證空氣潔凈度等級(jí)的送風(fēng)量。2)根據(jù)熱、濕負(fù)荷計(jì)算確定的送風(fēng)量。3)向潔凈室內(nèi)供給的新鮮空氣量。(一)單向流無(wú)塵室/潔凈室(1-5級(jí))1-5級(jí)的潔凈室,均采用單向流的氣流組織送風(fēng)方式,即潔凈室內(nèi)的氣流在同一截面的任意一點(diǎn),氣流的方向和速度均保持一致,這樣可以使清潔空氣象“活塞”一樣,將室內(nèi)的塵埃粒子以比較快的速度帶走。要實(shí)現(xiàn)“活塞”的效果,高效過(guò)濾器需要布滿(mǎn)率在80%以上,才可實(shí)現(xiàn)單向流的氣流組織方式。上海中沃電子科技,專(zhuān)注潔凈室系統(tǒng)解決方案。宣城潔凈室車(chē)間
新能源產(chǎn)業(yè)是我國(guó)戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)的重要組成部分,上海中沃的潔凈室為其發(fā)展提供了助力引擎。在太陽(yáng)能光伏、鋰離子電池等新能源領(lǐng)域,生產(chǎn)環(huán)境對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量和性能有著重要影響。例如,在太陽(yáng)能光伏電池的生產(chǎn)過(guò)程中,潔凈室可避免灰塵附著在電池表面,提高光電轉(zhuǎn)換效率;在鋰離子電池的生產(chǎn)中,潔凈室能防止雜質(zhì)進(jìn)入電池內(nèi)部,提高電池的安全性和循環(huán)壽命。中沃潔凈室通過(guò)提供潔凈、穩(wěn)定的生產(chǎn)環(huán)境,助力新能源企業(yè)提高產(chǎn)品質(zhì)量,降低成本,推動(dòng)我國(guó)新能源產(chǎn)業(yè)的可持續(xù)發(fā)展。安慶藥品潔凈室未來(lái),潔凈室將向更高潔凈度、更智能化、更可持續(xù)的方向發(fā)展。隨著量子計(jì)算、生物芯片等領(lǐng)域的突破。
潔凈室的氣流組織設(shè)計(jì)與送風(fēng)方式潔凈室的氣流組織是決定潔凈度的因素,其設(shè)計(jì)需綜合考慮送風(fēng)方式、風(fēng)速、換氣次數(shù)等參數(shù)。主流送風(fēng)方式包括垂直單向流(層流)與水平單向流:垂直單向流通過(guò)高效過(guò)濾器頂送、地面回風(fēng),形成垂直向下的均勻氣流,適用于ISO1-5級(jí)潔凈室(如半導(dǎo)體光刻車(chē)間);水平單向流則通過(guò)側(cè)墻高效過(guò)濾器送風(fēng)、對(duì)側(cè)墻回風(fēng),適用于長(zhǎng)條形潔凈室(如電子裝配線)。對(duì)于ISO6-9級(jí)潔凈室,通常采用非單向流(亂流)設(shè)計(jì),通過(guò)高效過(guò)濾器頂送、四周回風(fēng),使空氣在室內(nèi)充分混合,降低微粒濃度。風(fēng)速控制方面,ISO1級(jí)潔凈室需保持0.3-0.5m/s的層流風(fēng)速,以確保微粒被快速帶走;而亂流潔凈室的風(fēng)速則控制在0.15-0.25m/s,避免因風(fēng)速過(guò)高導(dǎo)致微粒飛揚(yáng)。換氣次數(shù)方面,ISO1級(jí)潔凈室需每小時(shí)換氣400-600次,ISO9級(jí)則需10-15次,通過(guò)高換氣率稀釋室內(nèi)污染物濃度。
潔凈室在半導(dǎo)體制造中的關(guān)鍵作用半導(dǎo)體制造對(duì)潔凈度的要求堪稱(chēng)嚴(yán)苛,潔凈室是保障芯片良率的設(shè)施。在晶圓加工過(guò)程中,光刻、蝕刻、薄膜沉積等工序需在ISO1-3級(jí)潔凈室中進(jìn)行,因?yàn)榭諝庵形⒘?huì)直接污染晶圓表面,導(dǎo)致電路短路或開(kāi)路。例如,某12英寸晶圓廠的光刻車(chē)間采用ISO1級(jí)潔凈室,通過(guò)垂直單向流(層流)設(shè)計(jì),使空氣以0.45m/s的速度垂直向動(dòng),將微粒攜帶至地面回風(fēng)口;同時(shí),車(chē)間內(nèi)所有設(shè)備(如光刻機(jī)、涂膠顯影機(jī))均采用密閉設(shè)計(jì),避免內(nèi)部機(jī)械運(yùn)動(dòng)產(chǎn)生微粒外泄。數(shù)據(jù)顯示,在普通環(huán)境中生產(chǎn)的芯片良率30%,而在ISO1級(jí)潔凈室中可提升至85%以上。此外,潔凈室還需控制化學(xué)污染物(如氨氣、有機(jī)蒸氣),通過(guò)活性炭過(guò)濾器與化學(xué)過(guò)濾系統(tǒng),將關(guān)鍵工序區(qū)域的化學(xué)污染物濃度控制在ppb(十億分之一)級(jí)別,防止對(duì)晶圓表面造成化學(xué)腐蝕。智能潔凈室系統(tǒng),中沃電子行業(yè)新趨勢(shì)。
液晶面板制造是高? 端制造業(yè),對(duì)環(huán)境潔凈度要求極高。中沃潔凈室為液晶面板制造提供了關(guān)鍵的環(huán)境支持。在液晶面板的生產(chǎn)過(guò)程中,塵埃粒子可能會(huì)導(dǎo)致面板出現(xiàn)亮點(diǎn)、暗點(diǎn)等缺陷,影響顯示效果。潔凈室通過(guò)高效的空氣過(guò)濾系統(tǒng)和嚴(yán)格的環(huán)境控制,將塵埃含量控制在極低水平,確保液晶面板在無(wú)塵環(huán)境下進(jìn)行生產(chǎn)。同時(shí),潔凈室還能控制溫度、濕度和靜電等因素,提高液晶面板的生產(chǎn)質(zhì)量和良品率,滿(mǎn)足消費(fèi)電子市場(chǎng)對(duì)高清、大尺寸液晶面板的需求。
潔凈室的材料選擇與表面處理直接影響微粒產(chǎn)生與清潔難度,需遵循“光滑、耐腐蝕、易清潔”的原則。100級(jí)潔凈室施工
節(jié)能設(shè)計(jì)方面,采用變頻風(fēng)機(jī)與高效電機(jī),根據(jù)實(shí)際負(fù)荷動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié)送風(fēng)量,相比定頻系統(tǒng)節(jié)電30%以上;。宣城潔凈室車(chē)間
科研實(shí)驗(yàn)需要精確的結(jié)果和可重復(fù)性,中沃潔凈室為科研工作提供了精細(xì)的實(shí)驗(yàn)平臺(tái)。在材料科學(xué)、納米技術(shù)、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域的實(shí)驗(yàn)中,環(huán)境中的塵埃、雜質(zhì)和微生物可能會(huì)干擾實(shí)驗(yàn)結(jié)果,影響實(shí)驗(yàn)的準(zhǔn)確性和可靠性。潔凈室能夠提供一個(gè)高度潔凈、穩(wěn)定的環(huán)境,減少外界因素對(duì)實(shí)驗(yàn)的干擾。科研人員可以在這里進(jìn)行各種精密的實(shí)驗(yàn)操作,如納米材料的制備、生物樣本的培養(yǎng)和分析等,有助于提高科研實(shí)驗(yàn)的質(zhì)量和效率,推動(dòng)科研成果的轉(zhuǎn)化和應(yīng)用。宣城潔凈室車(chē)間