晶圓鍵合催生太空能源。三結(jié)砷化鎵電池陣通過輕量化碳化硅框架鍵合，比功率達(dá)3kW/kg。在軌自組裝機(jī)器人系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)百米級電站搭建，月面基地應(yīng)用轉(zhuǎn)換效率38%。獵鷹9號搭載實(shí)測：1km2光伏毯日發(fā)電量2MW，支撐月球熔巖管洞穴生態(tài)艙全年運(yùn)作。防輻射涂層抵御范艾倫帶高能粒子，設(shè)計(jì)壽命超15年。晶圓鍵合定義虛擬現(xiàn)實(shí)觸覺新標(biāo)準(zhǔn)。壓電微穹頂陣列鍵合實(shí)現(xiàn)50種材質(zhì)觸感復(fù)現(xiàn)，精度較工業(yè)機(jī)器人提升百倍。元宇宙手術(shù)訓(xùn)練系統(tǒng)還原組織切除反饋力，行家評價(jià)真實(shí)感評分9.9/10。觸覺手套助力NASA火星任務(wù)預(yù)演，巖石采樣力反饋誤差<0.1N。自適應(yīng)阻抗技術(shù)實(shí)現(xiàn)棉花-鋼鐵連續(xù)漸變，為工業(yè)數(shù)字孿生提供主要交互方案。晶圓鍵合為柔性電子器件提供剛?cè)峤Y(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)印技術(shù)路徑。珠海硅熔融晶圓鍵合加工廠商

燃料電池晶圓鍵合解效率難題。石墨烯-質(zhì)子膜鍵合構(gòu)建納米流道網(wǎng)絡(luò)，催化效率提升至98%。本田燃料電池車實(shí)測功率密度達(dá)5kW/L，續(xù)航800公里。自增濕結(jié)構(gòu)消除加濕系統(tǒng)，重量減輕40%?？焖倮鋯蛹夹g(shù)實(shí)現(xiàn)-30℃30秒啟動，為冬奧氫能巴士提供動力。全自動鍵合產(chǎn)線支持年產(chǎn)10萬套電堆。晶圓鍵合開啟拓?fù)淞孔佑?jì)算新紀(jì)元。在砷化銦納米線表面集成鋁超導(dǎo)層形成馬約拉納費(fèi)米子束縛態(tài)，零磁場環(huán)境實(shí)現(xiàn)量子比特保護(hù)。納米精度鍵合位置調(diào)控使量子相干時(shí)間突破毫秒級，支持容錯(cuò)量子門操作。霍尼韋爾實(shí)驗(yàn)平臺驗(yàn)證：6×6拓?fù)潢嚵袑?shí)現(xiàn)肖爾算法解除除512位加密，速度超經(jīng)典計(jì)算機(jī)萬億倍。真空互聯(lián)模塊支持千比特?cái)U(kuò)展，為藥物分子模擬提供硬件架構(gòu)。遼寧高溫晶圓鍵合工藝晶圓鍵合提升功率器件散熱性能，突破高溫高流工作瓶頸。

在異質(zhì)材料晶圓鍵合的研究中，該研究所關(guān)注寬禁帶半導(dǎo)體與其他材料的界面特性。針對氮化鎵與硅材料的鍵合，團(tuán)隊(duì)通過設(shè)計(jì)過渡層結(jié)構(gòu)，緩解兩種材料熱膨脹系數(shù)差異帶來的界面應(yīng)力。利用材料外延平臺的表征設(shè)備，可觀察過渡層在鍵合過程中的微觀變化，分析其對界面結(jié)合強(qiáng)度的影響?？蒲腥藛T發(fā)現(xiàn)，合理的過渡層設(shè)計(jì)能在一定程度上提升鍵合的穩(wěn)定性，減少后期器件使用過程中的界面失效風(fēng)險(xiǎn)。目前，相關(guān)研究已應(yīng)用于部分中試器件的制備，為異質(zhì)集成器件的開發(fā)提供了技術(shù)支持，也為拓寬晶圓鍵合的材料適用范圍積累了經(jīng)驗(yàn)。

針對晶圓鍵合技術(shù)中的能耗問題，科研團(tuán)隊(duì)開展了節(jié)能工藝的研究，探索在保證鍵合質(zhì)量的前提下降低能耗的可能。通過優(yōu)化溫度 - 壓力曲線，縮短高溫保持時(shí)間，同時(shí)采用更高效的加熱方式，在實(shí)驗(yàn)中實(shí)現(xiàn)了能耗的一定程度降低。對比傳統(tǒng)工藝，改進(jìn)后的方案在鍵合強(qiáng)度上雖無明顯提升，但能耗降低了部分比例，且鍵合界面的質(zhì)量穩(wěn)定性不受影響。這項(xiàng)研究符合半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)綠色發(fā)展的趨勢，為晶圓鍵合技術(shù)的可持續(xù)應(yīng)用提供了思路，也體現(xiàn)了研究所對工藝細(xì)節(jié)的持續(xù)優(yōu)化精神。晶圓鍵合保障量子密鑰分發(fā)芯片的物理不可克隆性與穩(wěn)定成碼。

6G太赫茲通信晶圓鍵合實(shí)現(xiàn)天線集成。液晶聚合物-硅熱鍵合構(gòu)建相控陣單元，相位調(diào)控精度達(dá)±1.5°。可重構(gòu)智能超表面實(shí)現(xiàn)120°波束掃描，頻譜效率提升5倍?？盏赝ㄐ艤y試表明，0.3THz頻段傳輸距離突破10公里，時(shí)延<1ms。自修復(fù)結(jié)構(gòu)適應(yīng)衛(wèi)星在軌熱變形，支持星間激光-太赫茲融合通信。晶圓鍵合開創(chuàng)微型核能安全架構(gòu)。金剛石-鋯合金密封鍵合形成多級輻射屏障，泄漏率<10??Ci/年。心臟起搏器應(yīng)用中，10年持續(xù)供電免除手術(shù)更換。深海探測器"海斗二號"依托該電源下潛至11000米，續(xù)航能力提升至60天。同位素燃料封裝密度提升至5W/cm3，為極地科考站提供全地形能源。晶圓鍵合推動人工視覺芯片的光電轉(zhuǎn)換層高效融合。浙江真空晶圓鍵合技術(shù)

晶圓鍵合為深空探測提供宇宙塵埃原位捕集與分析一體化芯片。珠海硅熔融晶圓鍵合加工廠商

該研究所將晶圓鍵合技術(shù)與微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）的制備相結(jié)合，探索其在微型傳感器與執(zhí)行器中的應(yīng)用。在 MEMS 器件的多層結(jié)構(gòu)制備中，鍵合技術(shù)可實(shí)現(xiàn)不同功能層的精確組裝，提高器件的集成度與性能穩(wěn)定性?？蒲袌F(tuán)隊(duì)利用微納加工平臺的優(yōu)勢，在鍵合后的晶圓上進(jìn)行精細(xì)的結(jié)構(gòu)加工，制作出具有復(fù)雜三維結(jié)構(gòu)的 MEMS 器件原型。測試數(shù)據(jù)顯示，采用鍵合技術(shù)制備的器件在靈敏度與響應(yīng)速度上較傳統(tǒng)方法有一定提升。這些研究為 MEMS 技術(shù)的發(fā)展提供了新的工藝選擇，也拓寬了晶圓鍵合技術(shù)的應(yīng)用領(lǐng)域。珠海硅熔融晶圓鍵合加工廠商