直徑300mm的轉子比150mm的轉子單轉排量高約4倍(體積與直徑平方成正比);轉子形狀(如8字形、漸開線齒形)影響氣體的“密封性”。氣冷羅茨泵的轉子通常采用對稱8字形設計,其與泵腔的間隙(通常為0.1~0.3mm)需嚴格控制:間隙過小可能因熱膨脹摩擦;間隙過大則導致氣體回流,降低實際抽氣速率。氣冷系統通過穩定溫度,可將間隙波動控制在0.05mm以內,從而維持抽氣速率穩定。轉速是影響抽氣速率的直接因素:在排量固定時,轉速越高,單位時間排氣量越大(抽氣速率越高)。但轉速受限于兩個條件:材料強度:高轉速下轉子離心力增大,若材料(如球墨鑄鐵、不銹鋼)強度不足,可能導致轉子變形或斷裂。淄博干式真空擁有一站式服務產品體系的團隊:團結合作、敬業盡責、共同超越企業使命!遼寧氣冷羅茨真空泵批發
選用惰性氣體(如氮氣)作為冷卻氣體時,可隔絕腐蝕性氣體(如氯氣、硫化氫)與轉子、泵殼的直接接觸,降低金屬腐蝕速率。某化工企業的實踐顯示,采用氮氣氣冷的羅茨泵,在處理含氯氣體時,使用壽命從3個月延長至18個月。普通羅茨真空泵因依賴前級泵和水冷系統,應用場景受限(如缺水地區、移動設備),而氣冷系統的設計使其成為更靈活的真空動力源:無需前級泵的單獨運行:其氣冷羅茨泵可直接從大氣壓啟動,省去前級泵的采購與安裝成本(約占真空系統總投資的30%)。例如,在車載真空垃圾收集系統中,氣冷羅茨泵可直接與車輛發動機連接,無需額外配置旋片泵,重量減輕50%,適應野外移動需求。擺脫水冷依賴:氣冷系統無需冷卻水套、管道及冷卻塔,可在干旱地區或無水環境(如沙漠油田、航天器模擬艙)穩定運行。某光伏企業在甘肅的生產基地采用氣冷羅茨泵后,每年節約冷卻水1.2萬噸,水處理成本降低80萬元。東營大氣量羅茨真空泵廠家淄博干式真空以優良的品質、束越的特性和完善的售后服務體系,得到客戶的認可和支持!
氣冷羅茨真空泵通過主動冷卻設計,可在-20℃至80℃的環境溫度下穩定運行,且對含少量水蒸氣的氣體耐受性更強。其轉子采用球墨鑄鐵(QT400)材質,經精密動平衡處理,在高壓差下的壽命比普通泵延長50%以上。例如,在半導體鍍膜工藝中,氣冷羅茨泵可連續運行數千小時無故障,而普通泵因散熱問題需頻繁停機維護。氣冷羅茨真空泵的典型場景,快速抽空需求:如食品包裝、化工反應釜排氣,需在短時間內將壓力從大氣壓降至10^4Pa級。高溫或惡劣環境:如真空熱處理爐、電子元件焊接,冷卻氣體可防止泵體過熱并避免油污染。移動或缺水場景:如車載真空系統、偏遠地區工業設備,無需外接水冷系統。
氣冷羅茨真空泵的極限真空度受結構設計、氣冷系統效率、前級泵性能等因素影響,其典型范圍為1×10?2Pa至1Pa(約7.5×10??Torr至7.5×10?3Torr)。具體可分為以下場景:單級氣冷羅茨泵:配合前級泵(如旋片泵、干式螺桿泵)時,極限真空度通常在1×10?1Pa至1Pa之間,適用于中高真空需求場景(如真空干燥、包裝)。多級氣冷羅茨泵:通過串聯2-3級氣冷羅茨單元,配合高性能前級泵(如渦旋泵),極限真空度可低至1×10?2Pa至5×10?2Pa,滿足高真空應用(如半導體薄膜沉積)。特殊定制型號:針對航天、核工業等極端需求,采用較低間隙轉子(間隙≤5μm)和高效氣冷系統的氣冷羅茨泵,極限真空度可突破1×10?3Pa,但需配合超高真空前級泵(如擴散泵)使用。淄博干式真空充分發揮和調動全員參與的積極性,提高企業整體素質。
中型設備廣泛應用于半導體晶圓制造、光伏電池鍍膜、大型真空爐等工業場景,轉子直徑通常為150~300mm,轉速可達3000~6000r/min。其抽氣速率覆蓋500~5000m3/h,典型應用包括:半導體刻蝕工藝中的真空系統,需快速將反應腔抽至10?3Pa,配套的氣冷羅茨泵抽氣速率約1000~3000m3/h;光伏行業的PECVD(等離子體增強化學氣相沉積)設備,為實現大面積鍍膜的效率,氣冷羅茨泵抽氣速率多為3000~5000m3/h。大型設備主要用于航天模擬艙、核工業真空系統、大型復合材料成型設備等超大型真空場景,轉子直徑超過300mm,轉速通常為1500~3000r/min(受限于轉子慣性與冷卻壓力)。淄博干式真空擁有豐富的專業化施工隊伍,更好的為客戶提供系統化的服務。北京氣冷式羅茨真空泵廠家
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擴散泵是超高真空領域的傳統設備(極限真空度可達1×10??Pa),但需加熱擴散泵油產生蒸氣流,能耗高(單臺功率5-15kW),且啟動時間長(需30-60分鐘預熱)。氣冷羅茨泵為機械抽氣,功率只1-5kW(同抽速下比擴散泵低60%),且啟動無需預熱,從開機到達到工作真空度只需5-10分鐘,大幅提高生產效率。在半導體光刻膠涂覆工藝中,擴散泵每次開機需等待1小時,而氣冷羅茨泵可隨時啟停,單日有效工作時間增加2小時以上。雖然擴散泵真空度更高,但氣冷羅茨泵在1×10?2Pa至1Pa的高真空區間內,抽氣效率(單位能耗的抽氣量)是擴散泵的2-3倍,滿足90%以上的工業高真空需求。遼寧氣冷羅茨真空泵批發