本發明公開了一種激光位移傳感器，包括激光器、成像物鏡以及感光元件，激光器用于射出激光束，由成像物鏡接收并出射的光入射到感光元件，在對成像物鏡和感光元件進行調制傳遞函數MTF解析時，解析結果滿足以下條件：在感光元件的多個感光單元的主要排列方向為弧矢方向的情況下，MTFS＞MTFT；在感光元件的多個感光單元的主要排列方向為子午方向的情況下，MTFT＞MTFS；其中，MTFS為弧矢方向上的MTF值，MTFT為子午方向上的MTF值。本發明能夠降低物鏡的設計難度，節省制造和維護成本，另外還有助于提高測量的準確度，能夠更好地應對使用中因為振動或機械變形等隨帶來的不良影響。激光位移傳感器在半導體行業的應用案例。廣東激光位移傳感器性價比高

在采用方式2的情況下，可以在成像物鏡前或成像物鏡6后加入能夠引入像散的光學元器件(如平板玻璃)，配合調整成像物鏡6與感光元件7之間的距離時，可以在微米量級進行調整。每次調整后，可以進行MTF解析，在判斷解析結果滿足上述條件時，停止調節。如果調整后發現解析結果不滿足上述條件，則繼續進行調整。此外，在圖1所示的實施例中，反光元件8設置在接收物鏡6和感光元件7之間，從而可以提高所述激光位移傳感器的內部空間利用率，減小其外形尺寸。在所述激光位移傳感器外形尺寸允許的情況下，反光元件8可省略。在測量光斑和成像物鏡6之間的帶通濾光片5被用來濾除或降低雜散光對測量系統的影響。新品激光位移傳感器按需定制高精度激光位移傳感器采用激光技術，能夠實現非常精確的位移測量。

進一步地，所述可伸縮導軌包括一電動伸縮雙直線導軌、一No.1支撐件、一第二支撐件、一滑動輪、一伸縮制動開關以及一控制面板；所述No.1支撐件安裝在所述電動伸縮雙直線導軌固定端的底部，所述第二支撐件安裝在所述電動伸縮雙直線導軌可伸縮端的底部；所述滑動輪設于所述第二支撐件的底部；所述伸縮制動開關設于所述第二支撐件的側面；所述控制面板與所述電動伸縮雙直線導軌電連接。進一步地，所述微調裝置包括一蝸輪蝸桿機構、一電子測量儀以及一微調平臺；所述微調平臺設于所述電動伸縮雙直線導軌上端的尾部，所述微調平臺的末端向上設有一延伸部；所述蝸輪蝸桿機構設于所述微調平臺的前端；所述電子測量儀的一端抵接于所述延伸部，另一端抵接于所述蝸輪蝸桿機構。

方式[0019]請參照圖1所示，本實用新型激光位移傳感器檢驗校準裝置100的較佳實施例，包括一可伸縮導軌1、一微調裝置2、一傳感器夾持裝置3、一激光位移傳感器4以及一激光紅外線接收擋板5；所述微調裝置2和傳感器夾持裝置3設于所述可伸縮導軌1的上端；所述激光位移傳感器4夾持在所述傳感器夾持裝置3上，且使所述激光位移傳感器4的激光發射端朝向所述微調裝置2；所述激光紅外線接收擋板5與所述微調裝置2固接，且使所述激光紅外線接收擋板5的接收面朝向所述傳感器夾持裝置3。激光位移傳感器在3C電子行業中的應用案例。

在一個實施例中，上述感光元件7可以為線陣CCD感光芯片，或者也可以是線陣CMOS感光芯片。在線陣CCD感光芯片或線陣CMOS感光芯片中，包括線形排列的多個感光單元，通常為直線排列，該直線的延伸方向為感光單元的主要排列方向，這些感光單元沿著水平方向(弧矢方向)排列。由于感光單元為直線狀排列，因此，長條形光斑可增加與像元之間的接觸面積，可降低機械器件形變對所述激光位移傳感器信噪比的影響。[0045]在其他實施例中，上述感光元件7可以是面陣CCD感光芯片或面陣CMOS感光芯片。面陣CCD感光芯片或面陣CMOS感光芯片包括排列為矩形的多個感光單元，矩形的長邊沿著水平方向(弧矢方向)延伸，短邊沿著豎直方向(子午方向)延伸，其長邊的延伸方向即為感光單元的主要排列方向。這樣，長條形光斑同樣更加容易地被面陣CCD感光芯片或CMOS感光芯片接收到。它抗干擾能力強，能夠在復雜環境下正常工作。嘉定區激光位移傳感器廠家現貨

它可以用于測量電子元件的尺寸和形狀。廣東激光位移傳感器性價比高

非接觸式激光平面檢測采用的是集光、機電一體化的測量設備系統，系統中的激光位移傳感器是一種代替傳統接觸式測量的新型位移檢測裝置，具有分辨率高，線性度高和穩定性好等特點，可實現對對象物的高精度、高可靠性的測量。本文中定性檢測試驗較好地反映出對象物平面實際起伏情況，定量檢測試驗結果達到了儀器的理論精度為6μm范圍內的要求。該系統能滿足現代化生產和科學研究的需要，具有廣闊的應用前景。創視智能技術創視智能技術廣東激光位移傳感器性價比高