真空鍍膜機放氣閥形式介紹:(1)手動真空放氣閥:我國研制生產的真空鍍膜機手動真空放氣閥結構形式多種多樣,通徑有φ3mm、φ30mm、φ60mm等,以滿足不同真空系統工作的需要。QF-5型充氣閥主要是用來對真空容器充入大氣或其他特殊氣體的,此閥結構簡單,操作方便,密封可靠,適合各種真空鍍膜機真空應用設備配套之用。(2)手動超高真空安全放氣閥:該閥采用金屬密封,適用f超高真空系統,主閥板關閉.起截止氣流作用,主閥板啟開,可向真空系統充氣,當充入氣壓達到105~1.5×105Pa時,旁路通導板起跳排氣,避免因充氣壓力過高而破壞真空容器,直到保護真空系統的作用。本閥適用的介質為潔凈空氣或非腐蝕性干燥氣...
裝飾領域的真空鍍膜機,一部分采用的是真空蒸發鍍膜法,真空蒸鍍是將待成膜的物質置于真空中進行蒸發或升華,使之在工件或基材表面沉積的過程。是在真空室中加熱蒸發容器中待形成薄膜的原材料使其原子或分子從表面氣化逸出,形成蒸氣流入射到固體(稱為襯底或基片)表面凝結形成固態薄膜。關于蒸發源的形狀可根據蒸發材料的性質,結合考慮與蒸發材料的濕潤性,制作成不同的形式和選用不同的蒸發源物質。真空蒸鍍有三層:底漆層(6~12um)+鍍膜層(1~2um)+面漆層(10um)裝配前處理。將基材表面雜質、灰塵等用布擦拭干凈,提高噴射良率。將基材裝配在專屬掛具上,用以固定于流水線上,并按設計要求實現外觀和功能的遮鍍。通過加...
多弧離子真空鍍膜機鍍膜膜層不易脫落。由于離子轟擊基體產生的濺射作用,使基體受到清洗,啟動及加熱,既可以去除基體表面吸附的氣體和污染層,也可以去除基體表面的氧化物。離子轟擊時鏟射的加熱和缺陷可引起基體的增強擴散效應。多弧離子真空鍍膜設備鍍膜既提高了基體表面層組織結晶性能,也提供了合金相形成的條件。多弧離子真空鍍膜機由于產生良好的繞射性。多弧離子真空鍍膜設備鍍膜在壓力較高的情況下(≧1Pa)被電離的蒸汽的離子或分子在到達基體前的路程上將會遇到氣體分子的多次碰撞。多弧離子真空鍍膜機鍍膜還會在電廠的作用下沉積在具有負電壓基體表面的任意位置上。因此,這一點蒸發鍍是無法達到的。磁控濺射常用來沉積TSV結構...
多弧離子真空鍍膜機與蒸發真空鍍膜機、濺射真空鍍膜機相比,較大的特點是荷能離子一邊轟擊基體與膜層,一邊進行沉積。荷能離子的轟擊作用所產生一系列的效應,主要有如下幾點:多弧離子真空鍍膜機鍍膜鍍層質量高。由于離子轟擊可提高膜的致密度,改善膜的組織結構,使得膜層的均勻度好,多弧離子真空鍍膜設備鍍膜鍍層組織致密,小孔和氣泡少。多弧離子真空鍍膜機鍍膜沉積速率高,成膜速度快,可制備30μm的厚膜。多弧離子真空鍍膜設備鍍膜所適用的基體材料與膜層材料均比較普遍。適用于在金屬或非金屬表面上鍍制金屬、化合物、非金屬材料的膜層。如在鋼鐵、有色金屬、石英、陶瓷、塑料等各種材料表面鍍膜。蒸發物質的原子或分子以冷凝方式沉積...
在顯示器件方面,錄象磁頭、高密度錄象帶以及平面顯示裝置的透明導電膜、攝像管光導膜、顯示管熒光屏的鋁襯等也都是采用真空鍍膜法制備。在元件方面,在真空中蒸發鎳鉻,鉻或金屬陶瓷可以制造電阻,在塑料上蒸發鋁、一氧化硅、二氧化鈦等可以制造電容器,蒸發硒可以得到靜電復印機用的硒鼓、蒸發鈦酸鋇可以制造磁致伸縮的起聲元件等等。真空蒸發還可以用于制造超導膜和慣性約束巨變反應用的微珠鍍層。此外還可以對珠寶、鐘表外殼表面、紡織品金屬花紋、金絲銀絲線等蒸鍍裝飾用薄膜,以及采用濺射鍍或離子鍍對刀具、模具等制造超硬膜。近兩年內所興起的多弧離子鍍制備鈦金制品,如不銹鋼薄板、鏡面板、包柱、扶手、高級床托架、樓梯欄桿等目前正在...
使用等離子體增強氣相沉積法(PECVD)可在低溫(200-350℃)沉積出良好的氧化硅薄膜,已被普遍應用于半導體器件工藝當中。在LED工藝當中,因為PECVD生長出的氧化硅薄膜具有結構致密,介電強度高、硬度大等優點,而且氧化硅薄膜對可見光波段吸收系數很小,所以氧化硅被用于芯片的絕緣層和鈍化層。評價氧化硅薄膜的質量,較簡單的方法是采用BOE腐蝕氧化硅薄膜,腐蝕速率越慢,薄膜質量越致密,反之,腐蝕速率越快,薄膜質量越差。另外,沉積速率的快慢也會影響到薄膜的質量,沉積速率過快,會導致氧化硅薄膜速率過快,說明薄膜質量比較差。廣東省科學院半導體研究所。薄膜應力的起源是薄膜生長過程中的某種結構不完整性、表...