勻膠顯影機是完成除曝光以外的所有光刻工藝的設備,包括光刻材料的涂布、烘烤、顯影、晶圓背面的清洗以及用于浸沒式工藝的晶圓表面的去離子水沖洗等。勻膠顯影機一般由四部分組成。***部分是晶圓盒工作站(wafer cassette station),晶圓盒在這里裝載到機器上。機械手(robot arm)從晶圓盒中把晶圓抽出來,傳送到工藝處理部分(process block),即第二部分。工藝處理部分是勻膠顯影機的主體,增粘模塊(adhesion enhancement)、熱盤(hot plate)、冷盤(chill plate)、旋涂、顯影等主要工藝單元都安裝在這里,一個或兩個機械手在各單元之間傳遞晶圓。第三部分是為浸沒式光刻工藝配套的單元,包括晶圓表面水沖洗單元、背清洗單元等。第四部分是和光刻機聯機的接口界面(interface),包括暫時儲存晶圓的緩沖盒(buffer)、晶圓邊緣曝光(wafer edge exposure,WEE)和光刻機交換晶圓的接口等。 [1]涂膠顯影機(track)是一種用于半導體制造過程中光刻工藝的關鍵設備。無錫挑選涂膠顯影機按需定制
涂膠顯影機是一種用于印刷電路板(PCB)制造過程中的設備,主要用于涂覆光敏膠(光刻膠)和顯影處理。這種設備在PCB生產中起著關鍵作用,確保電路圖案的精確轉移和顯現。涂膠顯影機的主要功能:涂膠:將光敏膠均勻涂覆在PCB基板上,確保膠層的厚度和均勻性,以便后續的曝光和顯影過程。顯影:通過化學處理去除未曝光的光敏膠,顯現出電路圖案。顯影過程需要控制時間和溫度,以確保圖案的清晰度和準確性。干燥:在涂膠和顯影后,通常需要對PCB進行干燥,以去除多余的溶劑,確保膠層的穩定性。錫山區品牌涂膠顯影機廠家價格PS版的顯影則是在印版圖文顯現出來的同時,獲得滿足印刷要求的印刷版面和版面性能。
多功能化:未來的涂膠顯影機將具備更多功能,如在線檢測、實時監控等,以提高生產過程的靈活性和可靠性。個性化定制:隨著市場對個性化產品需求的增加,涂膠顯影機將能夠更好地滿足小批量、多樣化的生產需求。結論涂膠顯影機作為現代印刷技術的重要組成部分,正在不斷發展和進步。它不僅提高了印刷質量和效率,還推動了各個行業的創新與發展。隨著科技的進步和市場需求的變化,涂膠顯影機的未來將更加光明,必將在更多領域發揮重要作用。
顯影偏壓顯影偏壓由高壓板產生,并施加于顯影輥,用以提供圖像對比度。例如:顯影套筒的偏壓由交流電(AC)提供,如京瓷KM-1650機器:顯影偏壓Vp-p:所施加電壓的最大值和最小值之差;固定高壓:1.6kV;Vf:頻率;一般為2.7kHz,該值根據驅動時間預設值和環境校正的不同而不同;占空比:一個周期內正電壓所占的時間比例一般為45%;Vdc:顯影偏壓290V;Vo:感光鼓表面非圖像區域(未曝光區)的電壓;VL:感光鼓表面圖像區域(曝光區)的電壓。 [2]顯影是指用還原劑把軟片或印版上經過曝光形成的潛影顯現出來的過程。
顯影機一般由傳動系統、顯影系統、沖洗系統、烘干系統、程序控制系統等部分組成。傳動系統傳動系統是引導印版運行的驅動裝置。是由電機通過蝸輪蝸桿或鏈輪鏈條帶動傳送輥轉動,并通過對壓膠輥驅動使印版通過顯影機的各個工作環節。顯影系統印版顯影過程中,經過循環顯影液均勻、連續地噴淋,將印版空白部位的感光層迅速溶解,有的顯影機還加有刷輥刷洗,加速這種溶解。為了保證顯影液在恒定條件下工作,此部分還有加熱器和冷卻器,可自動調節溫度(一般控制在25℃左右)。藥液自動循環過濾,保證各處藥液濃度和溫度均勻一致。本文的烘干是干燥了,絕非烤版。錫山區品牌涂膠顯影機廠家價格
顯影/水洗、水洗/涂膠、涂膠/烘干,版每次從兩膠輥出來都是干凈的。無錫挑選涂膠顯影機按需定制
影片從化學加工***工序出來除去水滴后,乳劑中仍含有大量水分,需經干燥處理。洗片機具有干燥箱,用從本身自備的或總的空氣調節系統中取得加溫低濕清潔空氣,去烘除影片乳劑中所含水分。供風的氣流愈快﹑濕度愈低﹑溫度愈高則干燥愈迅速。但是溫度不能過高,影片也不允許過度干燥,否則會出現翹曲。因此一般需采用溫度自動控制裝置。吸收了水分的空氣被排走或經去濕處置后再循環利用。現代洗片機多采用沖擊式干燥,即將溫度較高的空氣,在接近膠片處的許多縫隙或小孔中高速吹出,這種方法效率**燥箱的體積小。無錫挑選涂膠顯影機按需定制
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